一种钕铁硼的表面防腐涂层制备方法
公开
摘要
本发明公开了一种钕铁硼的表面防腐涂层制备方法，包括以下步骤：1）表面预处理：清洗磁体表面，烘干；2）表面清洗：抽真空，升温至100℃，通入氩气，腔体加负偏压，对样品进行等离子清洗；3）表面蒸镀：抽真空，升温至200～300℃，通入辅助气体，辉光放电产生等离子体，轰击金属靶材，真空蒸镀，在钕铁硼磁体表面蒸镀上复合涂层；所述辅助气体包括第一组分、第二组分和第三组分，所述第一组分为硅氮烷，所述第二组分为氮气、氨气中的一种或两种，所述第三组分为氩气、氦气；4）蒸镀结束后，继续抽真空至真空室温度降至100℃以下，关闭设备。本发明采用真空热蒸镀生成无机纳米颗粒‑金属复合薄膜，使得钕铁硼磁体表面的耐腐蚀性能提高。
基本信息
专利标题 ：
一种钕铁硼的表面防腐涂层制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114622170A
申请号 ：
CN202210256250.6
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2022-03-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
程俊峰林建强
申请人 ：
宁波招宝磁业有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市镇海区城关后海塘工业区定海路66号
代理机构 ：
宁波锦策知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
林斌斌
优先权 ：
CN202210256250.6
主分类号 ：
C23C14/32
IPC分类号 ：
C23C14/32 C23C14/06 C23C14/02 C23C16/34 H01F41/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/32
爆炸法；蒸发及随后的气化物电离法
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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