电镀夹具以及可垂直挂镀和水平旋转电镀的流水线
公开
摘要
本申请公开了一种电镀夹具以及可垂直挂镀和水平旋转电镀的流水线,涉及电镀夹具的技术领域,阴极夹具包括支撑板与密封件;支撑板沿其厚度方向开设有空腔;基板放置于支撑板上,并将空腔的一侧边沿遮挡;支撑板上安装有用于与基板接触导电的导电组件;密封件包括用于遮挡基板的密封板以及驱动密封板靠近或远离支撑板的驱动件;支撑板与密封件之间设置有第一密封圈与第二密封圈;密封板抵接支撑板时,第一密封圈被夹紧于支撑板与密封板之间,且第一密封圈围合于基板外围;第二密封圈被夹紧于支撑板与基板之间,且第二密封圈位于基板内侧。本申请能够提高对基板非电镀区域的密封,提高电镀质量。
基本信息
专利标题 :
电镀夹具以及可垂直挂镀和水平旋转电镀的流水线
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114561682A
申请号 :
CN202210269001.0
公开(公告)日 :
2022-05-31
申请日 :
2022-03-18
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
马盛林王其强
申请人 :
厦门大学
申请人地址 :
福建省厦门市思明南路422号
代理机构 :
厦门市首创君合专利事务所有限公司
代理人 :
张迪
优先权 :
CN202210269001.0
主分类号 :
C25D17/06
IPC分类号 :
C25D17/06 C25D19/00 C25D17/00 C25D21/00
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C25
电解或电泳工艺;其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法;电铸;工件的电解法接合;所用的装置
C25D17/00
电解镀覆用电解槽的结构件、或其组合件
C25D17/06
施镀制品的悬挂或支承装置
法律状态
2022-05-31 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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