一种晶圆分选设备
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种晶圆分选设备，包括机架、上料机构、摆臂机构、晶圆平台机构、Bin盘平台机构、晶圆顶针机构、Bin盘顶膜机构和CCD对位系统。工作时，上料机构夹持晶圆盘放入到晶圆平台上，上料机构夹持Bin盘放入到Bin盘平台上，晶圆平台机构移动到CCD搜索、对位位置，CCD对位系统对晶圆进行搜索、对位，Bin盘平台机构移动到CCD对位、检测位置，CCD对位系统对晶圆进行对位、检测，晶圆顶针机构将晶圆上的晶粒顶出，摆臂机构上的吸嘴吸住晶粒，摆臂机构旋转，Bin盘顶针机构顶起Bin盘膜，摆臂机构将晶粒放置在Bin盘上。本发明的高速晶圆分选设备具有速度块、精度高、适用产品类型多等特点。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆分选设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114535139A
申请号 ：
CN202210269844.0
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-03-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
胡争光师利全李小根罗东贺天文甘恩荣吴嘉睿
申请人 ：
深圳市鑫三力自动化设备有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区福海街道稔田社区大洋路126-1号101
代理机构 ：
深圳市中联专利代理有限公司
代理人 ：
尹怀勤
优先权 ：
CN202210269844.0
主分类号 ：
B07C5/34
IPC分类号 ：
B07C5/34 B07C5/02 B07C5/36 H01L21/67 H01L21/677 H01L21/683
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B07
将固体从固体中分离；分选
B07C
邮件分拣；单件物品的分选，或适于一件一件地分选的散装材料的分选，如拣选
B07C5/00
按照物品或材料的特性或特点分选，例如用检测或测量这些特性或特点的装置进行控制；用手动装置，例如开关，来分选
B07C5/34
根据其他特殊性质来分选
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B07C 5/34
申请日 : 20220318
申请日 : 20220318
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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