本发明提供了一种感应加热外延设备，包括：主腔体，主腔体连接有工艺气体进气管组；上感应加热装置、下感应加热装置，上感应加热装置包括上加热板，下感应加热装置包括下加热板，上加热板、下加热板分别覆盖在主腔体上下两侧，上加热板、下加热板外侧均设置有电磁感应加热线圈；保温及冷却装置，包括：两个保温冷却板，保温冷却板连接有冷却气体进气管组，两个保温冷却板分别设置在上加热板、下加热板外侧。本申请通过直接电磁感应加热线圈平行布置，通过电磁感应加热线圈直接加热加热装置（上加热板和下加热板），大大提高了加热效率；同时在保温层增加有较大的进气口，在冷却过程中可以加大冷却气体的流量及流速，大大减少冷却所需时间。