本发明公开了一种基于臭氧技术的工业废水深度处理回用装置及其工艺，装置包括装置壳体，其顶盖上设有排气口，装置壳体侧壁上端设有排水口、回水口，装置壳体侧壁下端设有进水口，装置壳体内下部设有臭氧布气组件，装置壳体内上部设有填料装载仓，臭氧布气组件由第一布气件与第二布气件上下插接构成，第一布气件包括第一布气圆盘以及若干组设置在第一布气圆盘上的转动气筒，第二布气件包括第二布气圆盘以及若干组设置在第二布气圆盘上的固定套筒，转动气筒与固定套筒一一对应设置且转动密封连接。本发明通过臭氧布气组件实现两种排气孔的切换，从而调整臭氧布气组件的布气效果，并且可以防止排气孔出现堵塞等情况。