本发明提供一种信号发生装置，所述装置包括：一级缓存与控制单元、二级缓存与控制单元和数模转换单元；一级缓存与控制单元的输出端与二级缓存与控制单元的第一输入端连接；一级缓存与控制单元用于对波形序列进行缓存、读取和波形变换处理；二级缓存与控制单元的第二输入端用于接收外触发信号；二级缓存与控制单元的输出端与数模转换单元的输入端连接；二级缓存与控制单元用于缓存经处理后的波形序列，并根据外触发信号读取经处理后的波形序列；数模转换单元用于将波形序列从数字信号转换成模拟信号。本发明通过级联缓存控制，将外触发控制逻辑后置，排除了前级时间对触发时延的影响，实现了低触发时延，能在瞬时响应的测试场景中进行应用。