本发明提供一种抽气阀门、抽气阀门开闭方法及负压腔体组件，所述抽气阀门包括基盘与阀片组；所述阀片组与所述基盘沿一轴线排布，所述阀片组包括两个以上的阀片，两个以上的所述阀片围绕所述轴线依次内外邻接排布；所述基盘沿所述轴线在第一位置和第二位置间可移动地设置，所述基盘位于第一位置时，与所述阀片组相抵靠，所述抽气阀门关闭；所述基盘在所述第一位置与所述第二位置间移动时，驱动至少一个所述阀片随所述基盘一同移动，以调节所述抽气阀门的开度。如此配置，利用基盘在轴向上的移动带动阀片组开合，进而通过改变阀片组径向面积的大小来控制气流有效通过面积，从而提高腔体内刻蚀片的均匀性。