一种硅片切割中砂浆喷射控制方法及控制系统
公开
摘要
本发明公开一种硅片切割中砂浆喷射控制方法及控制系统，通过提前建立在不同执行模式下作业状态与位置调整值的对照表，确定在下压过程和提料过程中砂浆喷嘴的理想位置，确保砂浆喷嘴所喷的砂浆溶液落点在切割线与晶棒侧壁面的接触点处，从而在实际切割时，根据可检测的当前作业状态，在对照表中确认得出位置调整值，并且与原始位置相比，实时自动调节砂浆喷嘴的移动，在不停机的情况下自动调整砂浆喷射位置，提高切割过程的冷却效率，降低切割位置的切割温度，减少切割线的磨损，降低断线、亮边、厚薄、线痕等异常的发生，提高切割稳定性。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片切割中砂浆喷射控制方法及控制系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114571617A
申请号 ：
CN202210292143.9
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2022-03-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
徐志群付明全孙彬杨振忠马伟萍毕喜行
申请人 ：
广东高景太阳能科技有限公司;广东金湾高景太阳能科技有限公司
申请人地址 ：
广东省珠海市横琴新区荣澳道153号4幢二层B25单元
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
侯丽燕
优先权 ：
CN202210292143.9
主分类号 ：
B28D5/04
IPC分类号 ：
B28D5/04 B28D7/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工，例如半导体材料的精加工；所用设备
B28D5/04
用非旋转式工具的，例如往复式工具
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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