传感器及可穿戴设备
公开
摘要
本发明提供一种传感器及可穿戴设备，传感器包括基层，基层包括衬底和设置于衬底上的隔离层，隔离层背离衬底的一侧设置有振膜和背极，背极设置于振膜远离衬底的一侧，振膜为聚酰亚胺膜。该传感器采用聚酰亚胺制作振膜，具体地，可以采用纳米级的聚酰亚胺制作振膜，一方面，聚酰亚胺层具有良好的机械性能，使振膜不易破裂，另一方面，本发明中通过采用纳米级的聚酰亚胺，不需要增厚振膜的厚度同样能够保证振膜的机械可靠性，实现了大尺寸麦克风的超薄结构。该传感器具有振膜机械性能好，并且能够实现大尺寸超薄结构的优点。
基本信息
专利标题 ：
传感器及可穿戴设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114630244A
申请号 ：
CN202210312671.6
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2022-03-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
姜岗岚
申请人 ：
歌尔微电子股份有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园二期F楼
代理机构 ：
深圳市世纪恒程知识产权代理事务所
代理人 ：
晏波
优先权 ：
CN202210312671.6
主分类号 ：
H04R7/06
IPC分类号 ：
H04R7/06 H04R19/00 H04R19/04
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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