晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置
公开
摘要
本发明涉及晶圆加工设备技术领域，具体涉及一种晶圆激光low‑k设备旋转涂胶真空转接装置，该装置包括真空转动轴，真空转动轴内具有排气通道；轴承，轴承转动装配在真空转动轴的外周；轴承安装体，轴承安装体用于安装轴承和供真空转动轴穿过，轴承安装体内设置有抽吸通道，抽吸通道连通排气通道；磁性密封件，磁性密封件布置在轴承安装体内，在真空转动轴的轴线方向上，抽吸通道的一侧或两侧布置有所述磁性密封件；无磁性密封件，无磁性密封件布置在轴承安装体内，在真空转动轴的轴线方向上，抽吸通道的一侧或两侧布置有无磁性密封件，本发明有效解决了现有技术中存在的真空转接装置密封效果差、外界粉尘进入后易损坏整个设备的技术问题。
基本信息
专利标题 ：
晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114589073A
申请号 ：
CN202210313252.4
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-03-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
闫兴陶为银巩铁建蔡正道乔赛赛张伟鲍占林
申请人 ：
河南通用智能装备有限公司
申请人地址 ：
河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号楼一楼A130-10号
代理机构 ：
郑州银河专利代理有限公司
代理人 ：
安申涛
优先权 ：
CN202210313252.4
主分类号 ：
B05C13/02
IPC分类号 ：
B05C13/02 B05C11/08
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C13/00
操纵或夹持工件的方法，如对单个物体
B05C13/02
对特殊物品
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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