本发明公开的一种超声能场及液体辅助的飞秒激光多光束高效制孔装置，属于超快激光加工技术领域。飞秒激光系统、并行显微成像加工系统、物体壁厚自动检测系统、位移系统均与控制系统连接，超声能场液体辅助系统单独设置控制器。控制系统控制飞秒激光系统激光将一束激光分为多束，每束激光经并行显微成像加工系统对待物镜进行加工，物体壁厚自动检测系统测量物体的实际壁厚将数值传到控制系统，由控制系统控制位移系统移动，实现将待加工物体加工通透。本发明能够实现液体环境物理场、超声能场与飞秒激光光场多场耦合的加工，通过将一束激光分为多束，对物体壁厚进行精准测量，并通过控制系统控制各加工环节，有效提高加工效率和灵活性。