本发明公开了一种谐振式MEMS麦克风、声学成像仪和光声光谱检测仪，包括绝缘基底；硅谐振器，包括依次相连的谐振器锚点、连接梁、声波接收区和动梳齿，所述谐振器锚点的底部固定在所述绝缘基底上，所述连接梁、声波接收区、动梳齿悬在空中；固定电极，包括电极锚点和定梳齿，所述电极锚点固定在绝缘基底上，定梳齿悬在空中，定梳齿和所述动梳齿互相交错排列。本发明提出的MEMS麦克风采用悬臂梁结构，工作在一阶共振模态，使麦克风只响应共振频率附近特定频段的声波，而降低其他频率范围的噪声，在麦克风的硬件层面实现了自降噪功能；采用变面积式梳齿结构对振动进行检测，在增加电容检测的灵敏度同时，保持了较小的气体阻尼，提高了声波测量的灵敏度。