密封波纹管的漏率检测系统
实质审查的生效
摘要

本申请实施例提供了一种密封波纹管的漏率检测系统。该漏率检测系统的冷却腔室内形成有冷却腔,冷却装置与冷却腔室连接,用于调节冷却腔内的温度以模拟工艺腔室的工艺环境;冷却腔室上开设有多个连通口,用于使冷却腔能与密封波纹管的内部空间密封连通;检测腔室内形成有多个与连通口一一对应设置的容置腔,并且容置腔与连通口密封连接,容置腔用于容置并限位密封波纹管;检测抽气组件与冷却腔连通,用于对冷却腔抽真空,以及根据冷却腔内的检测气体含量,判断密封波纹管是否发生泄露。本申请实施例实现了对多个密封波纹管的批量检测,而且还能准确定位漏率不合格的密封波纹管。

基本信息
专利标题 :
密封波纹管的漏率检测系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114518204A
申请号 :
CN202210318509.5
公开(公告)日 :
2022-05-20
申请日 :
2022-03-29
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
张新翌陈景春
申请人 :
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 :
北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 :
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 :
彭瑞欣
优先权 :
CN202210318509.5
主分类号 :
G01M3/22
IPC分类号 :
G01M3/22  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M3/00
结构部件的流体密封性的测试
G01M3/02
应用流体或真空
G01M3/04
通过在漏泄点检测流体的出现
G01M3/20
应用特殊示踪物质,例如染料、荧光材料、放射性材料
G01M3/22
用于管、缆或管状物;用于管的连接或密封;用于阀门
法律状态
2022-06-07 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01M 3/22
申请日 : 20220329
2022-05-20 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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