一种磨片后简易超声清洗设备
公开
摘要
本发明公开了一种磨片后简易超声清洗设备，包括柜体，所述柜体的内部横向排布设置有清洗槽，所述清洗槽的底部皆设置有超声波振板，所述超声波振板的一侧皆设置有加热管，所述柜体的底部一固定安装有放置框。该一种磨片后简易超声清洗设备，通过利用超声波的高能量,使物质分子产生显著的声压作用,使得液体分子排列易发生断裂，液体分子断裂后,其内出现许多泡状的小空腔,这些空腔在极短的时间内闭合,同时产生巨大的瞬时压力，可使浮悬在液体中的固体表面受到急剧的破坏作用,而磨片的砂浆的颗粒粒径在8.6μm左右，根据此原理，将磨片后硅片通过超声的方式将硅片表面大颗粒砂浆清洗干净，减少磨片后清洗压力，提高硅片表面洁净度。
基本信息
专利标题 ：
一种磨片后简易超声清洗设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114602886A
申请号 ：
CN202210355340.0
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-04-06
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
雍琪浩
申请人 ：
中环领先半导体材料有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市宜兴经济技术开发区东氿大道
代理机构 ：
苏州高专知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
冷泠
优先权 ：
CN202210355340.0
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B3/10 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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