本发明公开了一种彗差法平面匀光照明装置，包括至少一排的半导体激光光源；半导体激光光源设置在垂直于所需照明平面的长度方向；每排半导体激光光源均对应连接有用于改变半导体激光光源的激光输出功率的光源驱动电路；每排半导体激光光源的激光输出光路上均依次设置有光束准直模块和匀光模块，匀光模块与所需照明平面呈一定夹角设置。本发明结构简单，操作方便，通过设置光束准直模块和匀光模块的焦距及角度来实现平面的均匀照明，通过光源驱动电路改变半导体激光光源的激光输出功率，保证了平面上被半导体激光光源照射范围内每一位置处接收到的光照度在预设范围内，有效解决了实际场景中补光灯照明不均匀的问题。