本发明公开了一种耐腐蚀的三坐标高精密移动平台，包括X向移动组件、Y向移动组件和Z向移动组件；Y向移动组件设于X向移动组件上，X向移动组件被一环形的密封带机构密封于耐腐蚀的塑料箱体内；塑料箱体的前面板上开设方形镂空，以供Y向移动组件沿X轴做往复运动；Z向移动组件设置于Y向移动组件上，且通过Y向移动组件带动Z向移动组件沿Y轴做往复运动。本发明基于X向移动组件、Y向移动组件和Z向移动组件的配合运动，可实现平台在三维方向的精密移动；除此，本发明无任何暴露的金属部件，密封性能好，能满足各种强化学腐蚀的工作环境；在选材上，本发明具有超痕量金属杂质，满足半导体、地球化学等领域超低痕量金属杂质要求。