一种回吸阀安装结构和方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种回吸阀安装结构和方法,所述回吸阀安装结构包括:安装面板,所述回吸阀设于所述安装面板;至少一个安装单元,所述安装单元设于所述安装面板,所述安装单元包括:第一限位件,所述第一限位件设于所述安装面板,并限位于所述回吸阀的第一侧面;第二限位件,所述第二限位件设于所述安装面板,并限位于所述回吸阀的第二侧面,所述第一侧面所在平面和所述第二侧面所在平面交叉;盖板组件,覆盖所述回吸阀顶部,所述盖板组件可拆卸连接所述第一限位件、所述第二限位件和所述安装面板中的至少一者,将所述回吸阀压紧在所述安装面板。本发明解决了回吸阀所处的安装空间有限,难以拆卸回吸阀的所有固定件,难以更换回吸阀的问题。

基本信息
专利标题 :
一种回吸阀安装结构和方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114460812A
申请号 :
CN202210370926.4
公开(公告)日 :
2022-05-10
申请日 :
2022-04-11
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
刘长伟耿克涛姜岩松
申请人 :
宁波润华全芯微电子设备有限公司
申请人地址 :
浙江省宁波市余姚市阳明街道新桥村村委东首
代理机构 :
浙江中桓凯通专利代理有限公司
代理人 :
杨靖茹
优先权 :
CN202210370926.4
主分类号 :
G03F7/16
IPC分类号 :
G03F7/16  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/16
涂层处理及其设备
法律状态
2022-05-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/16
申请日 : 20220411
2022-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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