用于晶圆涂覆玻璃粉的盛料转移装置
实质审查的生效
摘要

本申请提供一种用于晶圆涂覆玻璃粉的盛料转移装置,属于制造半导体的设备领域。装置包括:溶液池、料框以及取料部件。料框包括水平间隔设置的支撑杆,支撑杆的顶面沿长度方向开设有多处弧形槽,料框的两侧均设有侧挡杆,侧挡杆沿长度方向设有限位轮,限位轮圆周的中段均呈圆弧凹陷结构,弧形槽与限位轮组合使用。取料部件设于料框上方,取料部件设有多组夹持组件,夹持组件均包括一对卡爪,卡爪下段朝中部弯曲,卡爪的下端均设有滚轮,卡爪向下移动时,可推动侧挡杆沿着晶圆的外壁向下移动,卡爪之间的间距可自行调节。本装置可防止晶圆表面局部玻璃粉涂覆不均,可完好的取出晶圆,避免在取出过程中损伤玻璃粉涂层。

基本信息
专利标题 :
用于晶圆涂覆玻璃粉的盛料转移装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114433444A
申请号 :
CN202210372842.4
公开(公告)日 :
2022-05-06
申请日 :
2022-04-11
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李健儿冯艾诚冯永胡仲波蒋红全周建余
申请人 :
四川上特科技有限公司
申请人地址 :
四川省遂宁市射洪县河东大道88号
代理机构 :
成都诚中致达专利代理有限公司
代理人 :
杨春
优先权 :
CN202210372842.4
主分类号 :
B05C13/02
IPC分类号 :
B05C13/02  H01L21/687  H01L21/677  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C13/00
操纵或夹持工件的方法,如对单个物体
B05C13/02
对特殊物品
法律状态
2022-05-24 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B05C 13/02
申请日 : 20220411
2022-05-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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