本发明公开了一种激光辅助超声复合环形金刚石旋转线切割加工方法，属于切割加工技术领域，其技术要点是：工件绕自身轴心旋转并平移进给，激光光束向工件轴心水平照射，激光加热装置在空间中的运动与工件保持一致，通过实时调节光源运动速度控制工件待切割区域温度场，利用激光预热改善工件材料的可加工性。水平放置的纵向超声换能器带动超声导轮在水平方向上进行超声频机械振动，金刚石线锯随超声导轮做微幅低频超声振动，利用超声振动将线锯工件间的持续性接触转变为间歇性接触。在超声辅助金刚石线切割加工基础上引入激光预热加工过程，通过同步改善工件材料特性和切割接触状态，实现单晶硅等硬脆性材料精密高效金刚石线切割和切片加工。