目标靶镜调节装置及调节方法和直线度测量装置
公开
摘要
本发明公开了目标靶镜调节装置及调节方法和直线度测量装置,其中的目标靶镜调节装置包括两个目标靶镜、调节模组,调节模组包括设置在基座上安装部、与基座转动连接的活动部及调节机构,调节机构包括基座、调节螺杆,调节螺杆上间隔设有螺距不同的第一螺纹段、第二螺纹段;两个目标靶镜分别设置在安装部和活动部上,活动部的一侧设有连接杆,连接杆一端与第二螺纹段相连接,连接杆的第二端与活动部形成可移动的转动连接,第一螺纹段与基座螺纹连接。转动调节螺杆,活动部相对安装部转动一个精细的调整角。本发明可增大调节范围,有利于提高调节精度,方便调试人员的操作,提升直线度测量装置的测量精度。
基本信息
专利标题 :
目标靶镜调节装置及调节方法和直线度测量装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114578506A
申请号 :
CN202210495615.0
公开(公告)日 :
2022-06-03
申请日 :
2022-05-09
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
郝凌凌
申请人 :
上海隐冠半导体技术有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区金海路1000号47幢1楼
代理机构 :
杭州杭诚专利事务所有限公司
代理人 :
丁昱
优先权 :
CN202210495615.0
主分类号 :
G02B7/198
IPC分类号 :
G02B7/198 G02B7/182 G01B11/27
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B7/00
光学元件的安装、调整装置或不漏光连接
G02B7/18
用于棱镜;用于反光镜
G02B7/182
用于反光镜
G02B7/198
带有反光镜相对其支座调整装置的
法律状态
2022-06-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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