一种双振膜MEMS麦克风及其制造方法
公开
摘要
本发明属于麦克风技术领域，公开了一种双振膜MEMS麦克风及其制造方法，包括背板单元、第一振膜、第二振膜和若干连接单元，背板单元绝缘支撑于第一振膜和第二振膜之间，背板单元开设有若干通孔，连接单元穿设于通孔，若干通孔与若干连接单元一一对应设置，通孔与连接单元形成第一环形孔；连接单元包括若干连接柱、连接块、连接板和立柱，连接柱一端连接于第一振膜朝向第二振膜的一侧；连接块一端连接于第二振膜朝向第一振膜的一侧，连接块具有容纳槽，容纳槽的槽口朝向第一振膜；连接板连接连接块和若干连接柱，容纳槽与连接板形成容纳腔；立柱填充于容纳腔。本发明在不增大振膜面积的情况下提高信噪比，降低工艺难度，提高结构可靠性。
基本信息
专利标题 ：
一种双振膜MEMS麦克风及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114598979A
申请号 ：
CN202210500461.X
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-05-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
缪建民
申请人 ：
迈感微电子（上海）有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区春晓路439号3幢2层
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
杨雪
优先权 ：
CN202210500461.X
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04 H04R31/00
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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