本实用新型公开了一种半导体器件制造用化学产品生产过滤装置，包括过滤箱和位于过滤箱底部的支撑架，所述过滤箱的内部设置有过滤筒芯，所述过滤筒芯的顶部设置有进液管，所述进液管贯穿过滤箱连接有进液口，所述过滤筒芯的底部设置有贯穿过滤箱的排污管。本实用新型中，通过进液口通入清水，清水进入过滤筒芯和过滤箱中，当清水淹没过滤筒芯后，启动驱动电机，驱动电机带动主动轮转动，主动轮通过连接带带动从动轮转动，从动轮带动清洁立杆转动，清洁立杆通过支杆带动刷板转动，对吸附在过滤筒芯上的杂质进行刷除，然后打开控制阀一，污水从排污管中排出，便于清洁过滤筒芯，避免过滤筒芯堵塞，影响化学原料的过滤效率。