一种波导镜片检测装置
授权
摘要
本实用新型提供一种波导镜片检测装置,该波导镜片检测装置包括:样品台用于承载待检测的波导镜片;激光器用于向所述波导镜片发出光波导光束;转角器所述样品台上波导镜片的平面位于所述转角器的中心;平台调节单元用于对样品台的前后、左右进行位移调节以及旋转,通过调节使所述光波导光束射入所述波导镜片的耦入光栅中心;成像单元用于对所述波导镜片上的耦出光栅所成的像投射在所述成像单元上。通过调节转角器和平台调节单元的角度,可以调节光波导光束入射光的相对位置,从而获取不同角度的入射光在照射到耦入光栅后的衍射效率及能量分布,便于检测观察。另外,通过增加成像单元能够便于衍射和能量的观测,在样品台底部就可以观测投射的光束,且光路简单。
基本信息
专利标题 :
一种波导镜片检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202220098217.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2022-01-14
授权号 :
CN216669217U
授权日 :
2022-06-03
发明人 :
秦伟岗赵宇暄冒新宇
申请人 :
北京至格科技有限公司
申请人地址 :
北京市门头沟区石龙工业区桥园路1号1幢1层102室
代理机构 :
北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
李丽敏
优先权 :
CN202220098217.0
主分类号 :
G01M11/02
IPC分类号 :
G01M11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2022-06-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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