一种半导体生产用暗盒多尺寸转换平台
授权
摘要
本实用新型公开一种半导体生产用暗盒多尺寸转换平台，包括：底板、分别安装在底板的固定夹板、活动夹板组件，安装在所述活动夹板组件上的活动定位销组件；所述底板设置有若干定位孔，所述活动定位销组件包括：定位销本体，与所述定位销本体连接的活动件；所述定位孔沿直线排布，所述定位销本体与所述定位孔配合。本实用新型通过移动活动板组件，可以移动定位销本体，使得定位销本体能够插入其他的定位孔，从而可以实现放置不同尺寸的暗盒，从而对不同尺寸的晶圆进行流转，有效节约材料，减少空间占用，有利于生产。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体生产用暗盒多尺寸转换平台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202220181755.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2022-01-20
授权号 ：
CN216624231U
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
彭霞锋彭卫华
申请人 ：
深圳市安吉拉测试设备有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区西乡街道富华社区航城工业区深圳市智汇创新中心B栋335
代理机构 ：
深圳市中科创为专利代理有限公司
代理人 ：
徐方星
优先权 ：
CN202220181755.6
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-05-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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