一种光刻胶注射系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种光刻胶注射系统，包括：注射泵，设有出胶口、进胶口和注射器接口，所述注射器接口能够在所述出胶口和所述进胶口的连通中切换；注射器，设于出胶泵，连通所述注射器接口，所述注射器通过丝杆组件控制伸缩；供胶装置，连通所述进胶口；喷嘴，连通所述出胶口。本实用新型解决了管路中储存较多的光刻胶，造成光刻胶的浪费的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻胶注射系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202220186038.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2022-01-24
授权号 ：
CN216696980U
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
王冲周佳华
申请人 ：
宁波润华全芯微电子设备有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市余姚市阳明街道新桥村村委东首
代理机构 ：
浙江中桓凯通专利代理有限公司
代理人 ：
杨靖茹
优先权 ：
CN202220186038.2
主分类号 ：
G03F7/16
IPC分类号 ：
G03F7/16
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/16
涂层处理及其设备
法律状态
2022-06-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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