一种用于高纯度气瓶抽空的分子泵真空设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于高纯度气瓶抽空的分子泵真空设备,包括前置结构;设置在前置结构一侧出气口的维持结构;与维持结构出气口相接的精抽结构;分别与前置结构、精抽结构相通的主管道;若干与主管道连接的气瓶;用于容置气瓶的加热箱;可编程控制器,分别与前置结构、维持结构、精抽结构、气瓶上的控制元件电连接,通过设置的加热箱与可编程控制器,能够通过提前编程、自动控制的方式对各个分支部分进行自动化控制,只需人工干涉少许步骤,对工人来说要求较低,不需要记住繁琐的操作流程,且运用加热箱的加热方式,使在气瓶冲氮气时对其加热,其内的水份、余液均能被快速蒸发带出,气瓶内可填充条件更佳。
基本信息
专利标题 :
一种用于高纯度气瓶抽空的分子泵真空设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202220194614.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2022-01-25
授权号 :
CN216743826U
授权日 :
2022-06-14
发明人 :
陈铭枢张龙河吴春林
申请人 :
厦门华瀚机电有限公司
申请人地址 :
福建省厦门市思明区文屏路1-8号嘉禾良库文化创意园8号楼3T32
代理机构 :
厦门原创专利事务所(普通合伙)
代理人 :
高巍
优先权 :
CN202220194614.8
主分类号 :
F17C7/00
IPC分类号 :
F17C7/00 F17C13/00 F04D19/04
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F17
气体或液体的贮存或分配
F17C
盛装或贮存压缩的、液化的或固化的气体容器;固定容量的贮气罐;将压缩的、液化的或固化的气体灌入容器内,或从容器内排出
F17C
盛装或贮存压缩的、液化的或固化的气体容器;固定容量的贮气罐;将压缩的、液化的或固化的气体灌入容器内,或从容器内排出
F17C7/00
从压力容器内排放液化、固化或压缩气体的其他小类内不包含的方法或设备
法律状态
2022-06-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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