三氟化氮电解槽取样装置
授权
摘要
本实用新型属于工艺气体取样技术领域,涉及一种三氟化氮电解槽取样装置,连接在三氟化氮电解槽上,包括精取样单元,精取样单元与三氟化氮电解槽之间设有过滤单元,过滤单元通过抽气管与三氟化氮电解槽连通;精取样单元的进气口连通过滤单元的出气口,精取样单元的出气口连通真空泵的抽气口,真空泵的排气口通过回气管连通三氟化氮电解槽;精取样单元包括储气箱,储气箱两端分别与过滤单元和真空泵连通,且储气箱连通取样管的一端,取样管的另一端连通负压袋一,取样管上设有流量计和取样阀。本实用新型能够及时且准确的完成取样工作,有效的保证取样检测结果具有参考价值,降低了产生经济损失的风险。
基本信息
专利标题 :
三氟化氮电解槽取样装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202220236269.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2022-01-28
授权号 :
CN216747020U
授权日 :
2022-06-14
发明人 :
曲昆毕伟革王鹏飞赵金旭曹娅妮宫磊王杰
申请人 :
乌兰察布南大微电子材料有限公司
申请人地址 :
内蒙古自治区乌兰察布市集宁区商务科技文化中心B区5号楼101
代理机构 :
青岛发思特专利商标代理有限公司
代理人 :
胡莹
优先权 :
CN202220236269.X
主分类号 :
G01N1/24
IPC分类号 :
G01N1/24 G01N1/34
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N1/00
取样;制备测试用的样品
G01N1/02
取样装置
G01N1/22
气体的
G01N1/24
抽吸装置
法律状态
2022-06-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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