本实用新型提供了一种阀组及其阀单元，目的是解决现有阀门无法实现多通道对多通道流体控制的技术问题。所述阀单元包括：阀主体；及安装于所述阀主体上的多个执行机构；所述阀主体具有第一通道、由多个第二通道构成的第二通道组以及形成于所述阀主体侧面的接口；所述第一通与所述接口连通；所述第二通道与所述执行机构的数量及位置一一对应，且所述第一通道与所述第二通道能够在所述执行机构的控制下通断。该阀单元可通过一个气源入口即可对多个吸附塔进行通断控制。此外，本实用新型还提供了具有前述阀单元的阀组，其能实现多通道对多通道的流体控制，且具有结构紧凑、组装方便的优点。