一种高端装备制造的半导体芯片均匀喷涂设备
授权
摘要

本实用新型公开了一种高端装备制造的半导体芯片均匀喷涂设备,涉及到喷涂设备领域,包括喷涂管道,喷涂管道的下方连接有长距离喷涂组件,长距离喷涂组件包括上下设置的上板体、下板体,上板体的底部固定设置有驱动下板体移动的驱动组件,上板体上设置有通过螺纹配合连接在喷涂管道端部的连接套,长距离喷涂组件可匹配连接在喷涂管道的下端,适用于将喷涂管道处喷出的雾状喷涂料分散呈长距离的雾状喷涂料,用于一次性喷涂半导体芯片一个长度方向的表面位置或者一个宽度方向的表面位置,在不改变原设备的情况下,提高了喷涂效率,且长距离喷涂组件可匹配不同的喷涂管道上使用,具有很强的实用性。

基本信息
专利标题 :
一种高端装备制造的半导体芯片均匀喷涂设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202220520624.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2022-03-11
授权号 :
CN216539141U
授权日 :
2022-05-17
发明人 :
张永涛
申请人 :
泉州市微米电子科技有限公司
申请人地址 :
福建省泉州市石狮市蚶江镇港口大道伟伦实业有限公司(立泰园区内)
代理机构 :
泉州凡硕知识产权代理有限公司
代理人 :
马丽萍
优先权 :
CN202220520624.6
主分类号 :
B05B13/02
IPC分类号 :
B05B13/02  B05B12/16  B05B12/08  B05B12/04  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置;雾化装置;喷嘴
B05B13/00
不包含在B05B1/00至B05B11/00各组中的,用喷射的方法在物体或其他工件的表面涂布液体或其他流体的机器或设备
B05B13/02
支撑工件的装置;喷头的配置或安装;进给工件装置的改进或配置
法律状态
2022-05-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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