一种小型流体传感器
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明属于压力测量技术领域。此小型流体传感器的力敏元件是利用半导体压阻效应，采用集成电路工艺制成。为提高成品率，在(001)晶面上沿<110>晶向集成八个力敏电阻，可构成四组电桥。该传感器采用了全密封结构，将密封的不锈钢膜片直接焊在端盖上，并采用螺帽压接结构，便于观察和清洗膜片。力敏元件的安装是采用两个“O”型密封圈将其固定在主体上，这样可消除外界干扰力的影响。
基本信息
专利标题 ：
一种小型流体传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN85102765A
申请号 ：
CN85102765.2
公开（公告）日 ：
1986-08-13
申请日 ：
1985-04-01
授权号 ：
CN85102765B
授权日 ：
1987-09-16
发明人 ：
牛德芳高鑫胡静山周丽芳
申请人 ：
大连工学院
申请人地址 ：
辽宁省大连市凌水河
代理机构 ：
大连工学院专利事务所
代理人 ：
王树本
优先权 ：
CN85102765.2
主分类号 ：
G01L9/06
IPC分类号 ：
G01L9/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L9/00
用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力；用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移，该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的
G01L9/02
利用改变欧姆电阻值的，例如，使用电位计
G01L9/06
压电电阻器件的
法律状态
1993-08-04 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1988-04-06 ：
授权
1987-09-16 ：
审定
1986-08-13 ：
公开
1985-09-10 ：
实质审查请求
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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