采用脆性薄膜的压力检测单元
被视为撤回的申请
摘要
一种适于以成批处理的方式生产的电容检测单元，该单元采用刚性材料(如玻璃)的衬底和脆性半导体的膜片组件。膜片组件和衬底用阳极法粘接在一起。在膜片或衬底上形成一个很浅的凹槽以容纳淀积的电容器极板。两个这样的组件被连接在一起并将组件充入不可压缩的流体以使膜片从衬底稍向外弯曲。通过检测两个膜片的相对位置而检测出膜片组件之间的压力差。
基本信息
专利标题 ：
采用脆性薄膜的压力检测单元
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN85108071A
申请号 ：
CN85108071
公开（公告）日 ：
1986-04-10
申请日 ：
1985-10-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
索马斯·A·克尼特罗格·L·弗里克约翰·P·舒尔特
申请人 ：
罗斯蒙德公司
申请人地址 ：
美国明尼苏达州55344·埃登普拉尔
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利代理部
代理人 ：
张卫民
优先权 ：
CN85108071
主分类号 ：
G01L9/12
IPC分类号 ：
G01L9/12 G01L13/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L9/00
用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力；用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移，该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的
G01L9/12
利用电容量变化的
法律状态
1988-04-27 ：
被视为撤回的申请
1986-04-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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