在硅膜中心部位设置四端单元件的力敏器件
专利权的终止
摘要
在硅膜中心部位设置四端单元件力敏器件是利用某些特定形状的硅膜的中心部分的应力变化缓慢的特点进行设计的。此设计可减少器件对工艺中定位偏差的敏感性，特别是提高了在小型化硅膜上制作器件的现实性。
基本信息
专利标题 ：
在硅膜中心部位设置四端单元件的力敏器件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN85201923.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1985-05-22
授权号 ：
CN85201923U
授权日 ：
1986-03-19
发明人 ：
鲍敏杭
申请人 ：
复旦大学
申请人地址 ：
上海市邯郸路220号
代理机构 ：
复旦大学专利事务所
代理人 ：
滕怀流
优先权 ：
CN85201923.8
主分类号 ：
H01L29/00
IPC分类号 ：
H01L29/00
法律状态
1990-09-12 ：
专利权的终止
1987-06-24 ：
变更
变更前 : 鲍敏杭 变更后 : 鲍敏杭;王言 变更事项 : 设计人
1986-10-15 ：
授权
1986-03-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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