多工作模式的液态金属聚焦离子枪
专利权的终止
摘要
多工作模式的液态金属聚焦离子枪是适用科研用途的微细加工和分析之工具。其特点在于①采用固定电极，②阳极针可作大幅度滑动，③配以不同的电极接线位置，从而构成多种工作模式。其中有将阳极针伸出第一电极，以第一电极为栅极，第二电极为引出极，构成栅控工作模式；此外还可构成离子源方式、简单聚焦离子枪方式、能量调节方式等。采用可多装料的钽制同轴针外套。并且可从尾部任意换用同轴针型阳极或毛细管型阳极。
基本信息
专利标题 ：
多工作模式的液态金属聚焦离子枪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN85202460.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1985-06-26
授权号 ：
CN85202460U
授权日 ：
1986-04-16
发明人 ：
华明达周风声王亦曼张贻英
申请人 ：
北京师范大学;电子工业部北京第12研究所
申请人地址 ：
北京市新街口外大街北太平庄
代理机构 ：
北京师范大学专利事务所
代理人 ：
吴圣谷
优先权 ：
CN85202460.6
主分类号 ：
H01J37/08
IPC分类号 ：
H01J37/08
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
H01J37/08
离子源；离子枪
法律状态
1989-11-29 ：
专利权的终止
终止日 : 19861029
1986-10-29 ：
授权
1986-04-16 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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