自动传送片机构
专利权的终止专利权有效期届满
摘要
本实用新型《自动传送片机构》是关于半导体工艺设备中传送片机构的改进，属于半导体制造工艺设备。它通过传送杆机械手和升降顶片杆与微机相联，能自动直接送片，片子处理加工完成后亦可连续取回。整个传送机构简单、操作方便，无碎片现象。处理加工后的片子均匀一致。本传送片机构适用于半导体制造工艺中需要传送片的等离子刻蚀、反应离子刻蚀、化学气相沉积和磁控溅射等设备。
基本信息
专利标题 ：
自动传送片机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN85204855.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1985-10-26
授权号 ：
CN85204855U
授权日 ：
1986-11-05
发明人 ：
严金龙汤德余沈国雄吴钰铭蔡根寿
申请人 ：
中国科学院上海冶金研究所
申请人地址 ：
上海市长宁路865号
代理机构 ：
中国科学院上海专利事务所
代理人 ：
沈德新
优先权 ：
CN85204855.6
主分类号 ：
H01L21/68
IPC分类号 ：
H01L21/68
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
1991-12-25 ：
专利权的终止专利权有效期届满
1987-05-20 ：
授权
1986-11-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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