电弧点火装置
被视为撤回的申请
摘要
本发明揭示了一个用于真空电弧等离子体发生系统的点火装置，包括一个长度为L的、其边缘与对阴极表面边缘并置间距为D的细长金属点火器元件，有桥接表面的绝缘元件被放置得使桥接表面在点火器元件与阴极表面边缘间连接。在桥接表面上沉积一层导电薄膜。在点火器元件和阳极间设置一个简单的电连接，使点火器元件为一辅助阴极。为了在阴极和阳极间施加直流电弧电压时使导电薄膜汽化并从而引发电弧，长度L要够大而间距D要够小。
基本信息
专利标题 ：
电弧点火装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN86105020A
申请号 ：
CN86105020
公开（公告）日 ：
1987-03-11
申请日 ：
1986-08-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
托马斯·A·赫瓦特保罗·H·奈卡拉加里·E·弗加桑
申请人 ：
珀金斯—埃尔默有限公司
申请人地址 ：
美国康涅狄格州06859-0074诺沃克布·主大街761号
代理机构 ：
上海专利事务所
代理人 ：
吴淑芳
优先权 ：
CN86105020
主分类号 ：
C23C14/36
IPC分类号 ：
C23C14/36
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/36
二极溅射
法律状态
1989-06-14 ：
被视为撤回的申请
1987-03-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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