用于表面材料合成的真空反应室
专利权的终止专利权有效期届满
摘要
用于表面材料合成的真空反应室装置，它可用来对工件表面进行渗非金属元素或渗金属等操作。该真空室壁不采用通冷却水结构，而采用充填绝热材料层的结构，反应室内设有热交换器，风扇及灭弧电阻。反应室为分体式结构，由固定室和活动室组成。活动室可以沿导轨运动而与固定室分开或合紧。该真空反应室热能损失小、升温快。冷却时能加快冷却速度。提高工作效率，并且易于进行装卸工件的操作以及易于进行检修和保养。
基本信息
专利标题 ：
用于表面材料合成的真空反应室
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN86204249.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1986-06-23
授权号 ：
CN86204249U
授权日 ：
1987-04-15
发明人 ：
张弋飞
申请人 ：
张弋飞
申请人地址 ：
北京市西城区西四砖塔胡同60号
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利代理部
代理人 ：
包冠乾
优先权 ：
CN86204249.6
主分类号 ：
C23C8/36
IPC分类号 ：
C23C8/36 C23C14/38
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C8/00
金属材料表面中仅渗入非金属元素的固渗；材料表面与一种活性气体反应、覆层中留存表面材料反应产物的金属材料表面化学处理法，例如转化层、金属的钝化
C23C8/06
使用气体的
C23C8/36
使用电离气体的，例如离子氮化
法律状态
1995-02-01 ：
专利权的终止专利权有效期届满
1991-09-04 ：
专利权有效期的续展
1987-10-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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