湿度测量仪
专利权的终止
摘要
本实用新型是以Si-MOS型Al2O3湿度传感器为测湿元件的湿度测量仪。它采用α相Al2O3作为MOS结构的氧化层并以正交分量法电容测量仪作为二次仪表，可重复稳定地测量-80℃～+10℃露点范围的绝对湿度和0—100％的相对湿度。仪器读数稳定，不发生长期漂移，可用于工业过程的湿度监控，环境湿度的检测与控制，超纯气体中含水量的分析测量，气密封装电子器件中湿度的检测及器件可靠性和失效机理的研究等领域。
基本信息
专利标题 ：
湿度测量仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN86204690.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1986-10-17
授权号 ：
CN86204690U
授权日 ：
1987-07-29
发明人 ：
曹德福骆如枋
申请人 ：
中国科学院上海冶金研究所
申请人地址 ：
上海市长宁区长宁路865号
代理机构 ：
中国科学院上海专利事务所
代理人 ：
季良赳
优先权 ：
CN86204690.4
主分类号 ：
G01N27/22
IPC分类号 ：
G01N27/22 G01W1/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/22
通过测试电容量
法律状态
1990-03-14 ：
专利权的终止
1987-07-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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