镜面平整度的莫尔条纹测试方法及装置
审定
摘要
镜面平整度的莫尔条纹测试方法及装置，其特点是让光栅和镜面接近式地平行配置，掠射式地观察光栅与它在镜面中的虚象光栅间的叠合而形成的莫尔条纹。利用本发明设计的装置，它具有面光源，光栅测量台，及成象系统。可以把半导体工业用的硅片、掩膜板及家用冰箱压缩机阀片等放于光栅测量台的支承点，或面上，让其处于自由放置状态，观测它与支承点接触一侧的面型平整度。精度可达微米级。
基本信息
专利标题 ：
镜面平整度的莫尔条纹测试方法及装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1030641A
申请号 ：
CN87104789.6
公开（公告）日 ：
1989-01-25
申请日 ：
1987-07-10
授权号 ：
CN1019855B
授权日 ：
1992-12-30
发明人 ：
袁玉麟
申请人 ：
浙江大学
申请人地址 ：
浙江省杭州市玉泉
代理机构 ：
浙江大学专利代理事务所
代理人 ：
张法高
优先权 ：
CN87104789.6
主分类号 ：
G01B11/30
IPC分类号 ：
G01B11/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/275
••用于检测轮子准直度
G01B11/30
用于计量表面的粗糙度和不规则性
法律状态
1992-12-30 ：
审定
1989-01-25 ：
公开
1988-01-13 ：
实质审查请求
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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