接触式工作膜片印刷机的夹具
视为撤回的专利申请
摘要
半导体工业中所使用的工作膜片接触式印刷机的夹具能够利用由现有易购得的原材料制成的密封垫，而且还能减少作用在原始模板和待复制膜片上的切向力。 为此目的，本发明提出用一个初级密封垫和一个次级垫并在两密封垫并在两密封垫间配置一支架的结构。这种支架可防止切向力向与原始模板和待复制膜片相接触的密封垫传递。
基本信息
专利标题 ：
接触式工作膜片印刷机的夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN88102387A
申请号 ：
CN88102387.6
公开（公告）日 ：
1988-11-23
申请日 ：
1988-04-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
博胡米尔·斯拉瓦塔
申请人 ：
特斯拉公司
申请人地址 ：
捷克布拉格
代理机构 ：
中国专利代理有限公司
代理人 ：
肖尔刚
优先权 ：
CN88102387.6
主分类号 ：
G03F7/12
IPC分类号 ：
G03F7/12
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/12
网屏印刷模或类似印刷模的制作，例如，镂花模版的制作
法律状态
1992-08-19 ：
视为撤回的专利申请
1990-06-27 ：
实质审查请求
1988-11-23 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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