用于气体环境里的二次电子检测器
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明提供一种用于从试样表面生成、放大并检测二次电子的装置。该装置可以包括一种扫描电子显微镜。本发明还提供一种用于从试样表面生成、放大并检测二次电子的方法。
基本信息
专利标题 ：
用于气体环境里的二次电子检测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1031154A
申请号 ：
CN88103140.2
公开（公告）日 ：
1989-02-15
申请日 ：
1988-05-21
授权号 ：
CN1012402B
授权日 ：
1991-04-17
发明人 ：
詹姆斯·F·曼库索威廉·B·马克斯韦尔杰拉西莫斯·D·丹尼拉托斯
申请人 ：
电子扫描公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
中国专利代理有限公司
代理人 ：
张志醒
优先权 ：
CN88103140.2
主分类号 ：
H01J37/26
IPC分类号 ：
H01J37/26 H01J37/256 G01N23/22
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/26
电子或离子显微镜；电子或离子衍射管
法律状态
1998-07-15 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1992-02-12 ：
授权
1991-04-17 ：
审定
1989-10-18 ：
实质审查请求
1989-02-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN1012402B.PDF
PDF下载
2、
CN1031154A.PDF
PDF下载
