差压变送器
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明给出了一种能进行适当的静压补偿的差压变送器。该差压变送器包括有一个半导体传感器基片和一个半导体传感器基片牢固地装置在其上的固定用底座,其特征在于利用传感器基片和底座的杨氏弹性模量之差来检测流体的差压,对传感器基片的一侧或两侧进行处理以形成一比其环绕着它的部位更薄的部位,从而使由静压荷载所产生的峰值应力出现在这一较薄部位中,并检测形成在这一较薄薄部位处的压阻型力敏电阻的阻抗变化。
基本信息
专利标题 :
差压变送器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1036076A
申请号 :
CN88108847.1
公开(公告)日 :
1989-10-04
申请日 :
1988-11-25
授权号 :
CN1015133B
授权日 :
1991-12-18
发明人 :
田智清水康司鹈饲征一
申请人 :
株式会社日立制作所
申请人地址 :
日本东京都
代理机构 :
中国国际贸易促进委员会专利代理部
代理人 :
杜日新
优先权 :
CN88108847.1
主分类号 :
G01L13/04
IPC分类号 :
G01L13/04 G01L9/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L13/00
测量两个或更多个流体压力差值的设备或仪表
G01L13/04
应用浮体或液体作为传感元件的
法律状态
1998-01-14 :
专利权的终止未缴年费专利权终止
1992-09-09 :
授权
1991-12-18 :
审定
1989-10-04 :
公开
1989-09-13 :
实质审查请求
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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