自动送取片装置
专利权的终止专利权有效期届满
摘要
本实用新型提供了一种能用于电子束曝光机的高精度自动送取片装置。其结构不复杂，加工和装配调试都比较容易，既可在真空室(箱)内应用，也适宜其它用途应用。本装置为使我国电子束曝光技术和聚焦离子束曝光技术从实验室迈入生产实际创造了重要条件。
基本信息
专利标题 ：
自动送取片装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN88212755.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1988-02-03
授权号 ：
CN2037874U
授权日 ：
1989-05-17
发明人 ：
王静汉罗正全
申请人 ：
中国科学院光电技术研究所
申请人地址 ：
四川省成都市双流县文星镇
代理机构 ：
中国科学院成都专利事务所
代理人 ：
胡松涛
优先权 ：
CN88212755.1
主分类号 ：
H01L21/68
IPC分类号 ：
H01L21/68
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
1993-07-28 ：
专利权的终止专利权有效期届满
1990-04-18 ：
授权
1989-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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