使用烷基锌和含氧气体制备功能性氧化锌薄膜的方法
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要
一种具有高透光亲和低电阻的功能性氧化锌沉积薄膜，可以在约200℃的低温和在如玻璃这样廉价基片上制取，它通过在不同于成膜区间的区间用活化能活化一种原料气体而形成一种有助于形成沉积膜的前身，在不同于成膜区间，也不同于刚刚提及的区间的一个区间中，使用活化能活化一种原料气而形成一种能与前身化学反应的活性物质，并将前身和活性物质导入成膜区间，从而沉积一种膜，其中用于形成前身的原料气体是一种烷基锌化合物，而用于形成活性物质的原料是氧气或臭气或臭氧气体。
基本信息
专利标题 ：
使用烷基锌和含氧气体制备功能性氧化锌薄膜的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1039449A
申请号 ：
CN89104710.7
公开（公告）日 ：
1990-02-07
申请日 ：
1989-05-25
授权号 ：
CN1026132C
授权日 ：
1994-10-05
发明人 ：
西田彰志
申请人 ：
佳能株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
段承恩
优先权 ：
CN89104710.7
主分类号 ：
C23C16/40
IPC分类号 ：
C23C16/40 H01L21/365
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/30
沉积化合物、混合物或固溶体，例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C16/40
氧化物
法律状态
2009-08-05 ：
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2002-04-24 ：
其他有关事项
1994-10-05 ：
授权
1991-08-28 ：
实质审查请求已生效的专利申请
1990-02-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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