具有新型声镜的反射式声显微镜
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明属于声显微、机械扫描成象等技术领域，可广泛用于材料、微电子、光电子等技术领域的无损伤检测、评估与观察。本发明采用新型声镜、新型步进电机驱动电源，由通用微机构成机械扫描、高频部件控制和成象系统比平面换能器型兰宝石声镜分辨率高而价格却低数十倍；比专用微机功能强通用性好，用户使用方便，此外还具有高效、低噪声等特点。
基本信息
专利标题 ：
具有新型声镜的反射式声显微镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1054667A
申请号 ：
CN90101053.7
公开（公告）日 ：
1991-09-18
申请日 ：
1990-03-08
授权号 ：
CN1019919C
授权日 ：
1993-02-17
发明人 ：
陈戈林胡思正李德杰罗淑云申忠明张克潜
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
100084北京市海淀区清华园
代理机构 ：
清华大学专利事务所
代理人 ：
胡兰芝
优先权 ：
CN90101053.7
主分类号 ：
G01N29/06
IPC分类号 ：
G01N29/06 G01N29/10
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N29/00
利用超声波、声波或次声波来测试或分析材料；靠发射超声波或声波通过物体得到物体内部的显像
G01N29/04
固体分析
G01N29/06
内部的显像，例如，声显微技术
法律状态
1995-05-03 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1993-02-17 ：
授权
1991-09-18 ：
公开
1990-09-19 ：
实质审查请求
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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