氮、氩、氦通用终端超净装置
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
一种氮、氩、氮通用终端超净装置由RC反应柱，一对RAC反应去湿组合柱，OC反应柱和再生活化系统组成。该装置由于在再生活化气路中加有起匀压和控制成品气吹扫量的一阻尼管和控制阀，因此可以采用抽空和吹扫两种再生活化方式相结合。采用这种超净装置可将4N级原料气连续净化成6N级以上超净气体。此外，该装置的抽空机组不必连续抽空运行，吹扫用的成品气只占成品气的1％。
基本信息
专利标题 ：
氮、氩、氦通用终端超净装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1054232A
申请号 ：
CN90105033.4
公开（公告）日 ：
1991-09-04
申请日 ：
1990-02-20
授权号 ：
CN1024526C
授权日 ：
1994-05-18
发明人 ：
程德鑫孔照荣唐学渊张儒杰张俊香蔡体杰李景芝张喜善高增吴华春钟秀贞储毅王武明赵敏韩同生李康善
申请人 ：
中国科学院大连化学物理研究所;化学工业部光明化工研究所
申请人地址 ：
辽宁省大连市中山路161号
代理机构 ：
中国科学院沈阳专利事务所
代理人 ：
汪惠民
优先权 ：
CN90105033.4
主分类号 ：
C01B21/04
IPC分类号 ：
C01B21/04 C01B23/00
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B21/00
氮；其化合物
C01B21/04
氮的净化或分离
法律状态
1998-04-15 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1994-05-18 ：
授权
1992-09-09 ：
实质审查请求已生效的专利申请
1991-09-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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