用于检测微量水分的绝对湿度传感器
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明公开了一种用于检测微量水份的α-Al2O3绝对湿度传感器，其特点是采用了两次阳极氧化的方法分别生成的α-Al2O3膜和致密非晶A12O3膜作为本发明的绝对湿度传感器的复合湿敏介质层，本发明性能优良，具有很好的长期稳定性，长期使用不需校正湿度曲线，能检测的微量水份低达1PPmv，是一种方便、实用的检测微量水份的新型绝对湿度传感器。
基本信息
专利标题 ：
用于检测微量水分的绝对湿度传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1063161A
申请号 ：
CN91107172.5
公开（公告）日 ：
1992-07-29
申请日 ：
1991-04-09
授权号 ：
CN1023155C
授权日 ：
1993-12-15
发明人 ：
金懋昌陈志
申请人 ：
电子科技大学
申请人地址 ：
610054四川省成都市建设北路二段四号
代理机构 ：
电子科技大学专利事务所
代理人 ：
严礼华
优先权 ：
CN91107172.5
主分类号 ：
G01N27/12
IPC分类号 ：
G01N27/12
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/04
通过测试电阻
G01N27/12
与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻
法律状态
1998-06-03 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1993-12-15 ：
授权
1992-07-29 ：
公开
1991-12-18 ：
实质审查请求已生效的专利申请
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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