激光沉积大面积超导膜的方法及其装置
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明激光沉积膜导膜的方法是靶台和激光头固定激光束经由垂直于光束的平面上作圆周运动的透镜实现在靶面扫描剥离。本方法的装置由激光头、靶台、基片座、电机、转盘、轴承、吊杆、吊环、透镜和控制部分等构成,转盘偏心孔位置可变,导致透镜圆周运动半径改变,加大激光束扫描范围,进一步扩大均匀沉积面积。本发明方法应用方便、装置简单实用,对于可用激光物理气相沉积生长薄膜的各种材料,改善大面积沉积膜的均匀性十分有效。
基本信息
专利标题 :
激光沉积大面积超导膜的方法及其装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1075027A
申请号 :
CN92100640.3
公开(公告)日 :
1993-08-04
申请日 :
1992-01-28
授权号 :
CN1037793C
授权日 :
1998-03-18
发明人 :
安承武陆冬生范永昌
申请人 :
华中理工大学
申请人地址 :
430074湖北省武汉市武昌珞喻路151号
代理机构 :
华中理工大学专利事务所
代理人 :
方放
优先权 :
CN92100640.3
主分类号 :
H01B12/06
IPC分类号 :
H01B12/06 H01L39/24 H01L39/12 C23C14/22 B05D5/12
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01B
电缆;导体;绝缘体;导电、绝缘或介电材料的选择
H01B12/00
超导或高导导体、电缆或传输线
H01B12/02
按其形状区分的
H01B12/06
在基体上或线芯上的薄膜或线
法律状态
2000-03-22 :
专利权的终止未缴年费专利权终止
1998-03-18 :
授权
1995-03-22 :
实质审查请求的生效
1993-08-04 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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