一种半导体扩散长度测量仪
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
一种半导体扩散长度测量仪，其特征是光源由恒流脉冲发生器和红外发光二极管构成，用多个干涉滤光片将波长为8500～10500的光谱分离成不同中心波长的单色光，采用Y型光缆将光能耦合到测试样品正面和PIN光电二极管，设有光谱响应度补偿电路，所有测试控制程序，计算公式，校正因子都装入软件包。与现有技术比较，具有光源光强稳定，测试迅速、测量精度高、结构简单、造价低、实现自动测量等优点。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体扩散长度测量仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1066730A
申请号 ：
CN92108446.3
公开（公告）日 ：
1992-12-02
申请日 ：
1992-06-02
授权号 ：
CN1029034C
授权日 ：
1995-06-21
发明人 ：
姚野张焕林宋晨路聂劲松姚奎鸿
申请人 ：
浙江大学
申请人地址 ：
310027浙江省杭州市玉泉
代理机构 ：
浙江大学专利代理事务所
代理人 ：
连寿金
优先权 ：
CN92108446.3
主分类号 ：
G01R31/26
IPC分类号 ：
G01R31/26
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
1996-07-17 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1995-06-21 ：
授权
1992-12-02 ：
公开
1992-11-04 ：
实质审查请求已生效的专利申请
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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