薄膜分光1∶1折反射式光学系统
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明是一种薄膜分光1∶1折反射式光学系统，它含有两组结构完全相同的消象差折射镜组，薄膜分束器和主反射镜。其中的一消象差折射镜组与主反射镜共光轴，另一消象差折射镜组的光轴垂直于主反射镜光轴，并两组消象差折射镜组以薄膜分束器的中心面为对称面对称地置放。本发明的光学系统主要用于精细图形照相复制，如用于光刻机上。具有工作视场能够充分被利用的优点。
基本信息
专利标题 ：
薄膜分光1∶1折反射式光学系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1088313A
申请号 ：
CN92113811.3
公开（公告）日 ：
1994-06-22
申请日 ：
1992-12-17
授权号 ：
CN1030233C
授权日 ：
1995-11-08
发明人 ：
王之江邹海兴严琪华
申请人 ：
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址 ：
201800上海市800-211邮政信箱
代理机构 ：
上海华东专利事务所
代理人 ：
李兰英
优先权 ：
CN92113811.3
主分类号 ：
G02B27/00
IPC分类号 ：
G02B27/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B27/00
不能分入G02B 1/00-G02B 26/00,G02B 30/00的其它光学系统或其它光学仪器
法律状态
1997-01-29 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1995-11-08 ：
授权
1994-11-16 ：
实质审查请求的生效
1994-06-22 ：
公开
1993-08-25 ：
实质审查请求的生效
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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