平行平板分光的1∶1折反射式光学系统
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明是一种平行平板分光的1∶1折反射式光学系统，含有两大部分——照明部分和成象部分。成象部分含有两组结构完全相同的折射镜组，用以分光的厚度相同的两平行平板，两平行平板中间夹有半透半反射面和中心带有中心孔的主反射镜。照明部分含有均匀照明器、分前后两组聚光镜，中心遮栏的孔径光阑或视场光阑和掩模板。本发明主要用于精密图形照相复制，特别是用于投影光刻机上。具有数值孔径大、分辨率高、能够充发利用系统的视场的优点。
基本信息
专利标题 ：
平行平板分光的1∶1折反射式光学系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1075801A
申请号 ：
CN92113820.2
公开（公告）日 ：
1993-09-01
申请日 ：
1992-12-26
授权号 ：
CN1027016C
授权日 ：
1994-12-14
发明人 ：
鄢雨邹海兴王之江
申请人 ：
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址 ：
201800上海市800-211邮政信箱
代理机构 ：
中国科学院上海专利事务所
代理人 ：
李兰英
优先权 ：
CN92113820.2
主分类号 ：
G02B17/08
IPC分类号 ：
G02B17/08 G02B17/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B17/00
有或无折射元件的具有反射面的系统
G02B17/08
折反射系统
法律状态
1996-02-07 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1994-12-14 ：
授权
1993-09-01 ：
公开
1993-08-25 ：
实质审查请求的生效
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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